優點
降低缺陷率
實時監測導致制程缺陷的粒子變化
使用移動式計數器定位粒子污染源
排除多管采樣的常見漏計錯誤
附件配備,適用于多種應用
0.1um粒子監測效率高于傳統設備
生產效率
存儲/導出采樣方案,節省潔凈室時間
通過辦公室電腦和網絡瀏覽器控制潔凈室監測:
設置,采樣,顯示,打印,數據,上傳采樣方案等
噪音小,有利于工作環境
可選擇9種語言顯示和打印
合ISO,FS或英國標準的計算統計和
同Facility Net 軟件整合,用于數據管理
告訴數據至EXCEL,PDA 或U存儲器
成本低
使用同一臺粒子計數器進行ISO Cl 1-9應用
無需頻繁清洗激光部件
泵的使用壽命長,無需每年更換葉片
容擦拭,設計有利于將粒子截留建至少
合A/D標準的KYDEX機殼,結實,化學腐蝕
低溫激光二管使用壽命更長;激光部件保修3年
性能
激光二管
功能,噪音小,使用方便
6個粒徑通道:0.1-5.0um
可存儲多達3000套樣本參數,可進行數據審核,分檢,過濾,打印
U數據至閃存卡鍵
內置熱敏打印機
彩色液晶大顯示屏:視覺效果佳,數據顯示量大
安靜的無碳鼓風機/泵;泵和機柜排氣過濾
可整合多達6個環境傳感器
可選購適用于ISO 1-4級潔凈度的過濾器
可選購供8小時連續移動使用的電池/充電器
應用
潔凈室監測
高靈敏度應用
滿足ISO,FS 或英國標準的設施
LASAIR II-110規格
通道限值:0.1,0.2,0.3,0.5,1.0,5.0um
流量:1CFM
校準:可追蹤校準材料,合NIST標準
測試方法:微分遷移分析法驗證0.1um粒子
濃度:大于500,000/立方英尺
點計數:過JIS標準,適用于ISO cl 1和2潔凈室
激光源:激光二管,3W(正常使用為2W)
激光冷卻:熱電冷卻,散熱片
保修:3年激光模塊保修,2年其它組件保修
通訊模式:以太網或RS-232;可選購4-20mA輸出版;U輸出
環境傳感器:可選購溫度/相對濕度探頭;通過4-20mA輸入整合多達4臺外部傳感器
顯示:1/4VGA彩色液晶顯示器
顯示語言:英語,法語,德語,意大利語,日語,韓語,西班牙語,中文
打印機:內置熱敏打印機
:樣本打印帶;ISO/FS209/英國標準的潔凈室規則達標終;多次運行平均值;警報打印;采樣配置打印
遠程控制:通過網絡瀏覽器操作設備;保存或運行采樣方案
軟件關鍵性能:采樣方案,預定采樣,歷史數據篩選,分檢和審核,保護
數據存儲:3000套數據
數據和采樣:存儲的數據記錄不可更改;采樣方案可由保護
外表面:KYDEX底盤,聚酯顯示屏,鍍鋅鋼底座均合A/D標準
清潔材料:漂白劑,甲醛,乙/異丙醇,過氧化氫
監測清潔度:內部過濾泵排氣和機柜排氣
尺寸:45 X 35 X 32 cm
電源:85-264V,50-60Hz
工作環境:溫度15-30攝氏度;濕度 10-85%非冷凝







