伊特克斯惰性氣體系統（北京）有限公司
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Lab2000 Auto系列是一種多功能鍍膜設備(熱蒸發/熱阻蒸發和電子柬蒸發可選)，設計用于滿足科研工作者和電子顯微學家的需求。可配備各種真空系統、真空腔室和標準化工藝附件，提供一系列實驗技術以滿足現代化實驗室的需要?？蛇x擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室，也可以配置通用的前開門式不銹鋼箱式腔室。腔室具有額外的高度與寬度，適用于安裝較多的工藝附件。
客戶可選擇的模塊化工藝附件，包括熱阻蒸發源及其控制電源、電子東蒸發源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監控儀等。真空系統由觸屏PLC控制和監控，易于操作;高真空泵選擇包括擴散泵、渦輪分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高直空閥門可在意外情況時保護泵和樣品。
