| 型號 | Flex-85 |
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| 外形 | 3,000mm(寬) x2,500mm(長) x 2,500 mm (高 ) |
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| 重量 | 7500KG左右 |
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| 電力需求 | 380V，50Hz, hase, approx. 50A Max |
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| 能力 | 可樣品尺寸 | 3~85寸 |
| 可范圍 | 顯示區內任何位置 |
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| 時間 | 120S左右每個像素(尺寸200um*100um的pixel) |
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| 適用產品類型 | Cell段產品(OLED面板，IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板)，模組段產品(已貼偏光片，帶TP模組) |
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| 遮光性 | 修補顏色在模組背光下不可見 |
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| 平臺功能 | Gantry結構 | 龍門式 |
| X-Y-Z 行程 | 2000*1200*50mm |
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| 移動 | 0.1um |
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| X-Y運動速度 | 0~200mm/s |
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| Z 運動速度 | 0~2mm/s可調 |
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| 定位 | AOI坐標自動定位 |
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| 光學特性 | 光路系統倍率 | 50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects |
| 物鏡切換速度 | 0.2~0.7s |
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| 聚焦 | 激光自動聚焦 |
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| 光學分辨率 | 0.7um |
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| 相機 | 200W/500W像素工業相機 |
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| 激光特性 | 激光系統 | 激光切割系統(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object，532nm) |
| 能量調節 | 0-1000 steps |
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| 0-100% |
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| 激光波長 | 1064nm，532nm，355nm |
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| 脈寬 | 500fs |
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| 光斑尺度 | 0.8~1.5um @100X object |
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| 1.0~3.0um @50X object |
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| 激光壽命 | ＞10年，維護間隔＞6,000小時 |
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| 掃描面能量均勻性 | 5% IR |
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| 工作模式 | Scan掃描式 |
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| 掃描形狀 | 可任意定義形狀 |
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| 工藝參數 | 軟件可以添加任意組工藝參數 |
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| 控制 | 工作模式 | 自動，實現數據的自動導入和輸出，聯機通訊 |
| 手動或者半自動 |
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| 上下片 | 機械手或者流水線 |
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| CIM系統 | 有 |
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| 減震 | 主動式減震系統，能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動 |
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| 工業PC | 23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤)，8G內存，1G顯卡，DVD-ROM |
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| 通訊接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 |
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| 整機帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作 |
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| 緊急開關EMO |
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| 限位sensor，運動平臺和激光系統限位互鎖 |
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| Interlock報警，自動關閉系統(軟件設置為可選) |
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| 應用 | TFT-LCD Panel亮點的，OLED Panel亮點的 |
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