原子力顯微鏡
FM-Nanoview 6600AFM
一、掃描探針顯微鏡功能特點
1. 光機電一體化設計，外形結構簡單； 2. 掃描探頭和樣品臺集成一體，干擾能力強； 3. 精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調節簡單，操作方便； 4. 采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描； 5. 伺服馬達手動或自動脈沖控制，驅動樣品垂直接近探針，實現掃描區域定位； 6. 高大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區域； 7. 高大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據不同和掃描范圍要求選擇； 8. 自由變倍的CCD觀測系統，實時觀測與定位探針掃描樣品區域； 9. 采用伺服馬達控制CCD對焦和光學放大； 10. 模塊化的電子控制系統設計，便于電路的持續改進與維護； 11. 集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統使用。 |
二、
1. 多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖； 2. 多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測量功能； 3. 可進行掃描區域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區域； 4. 可任意選擇樣品起始掃描角度； 5. 激光光斑檢測系統的實時調整功能； 6. 針尖共振峰自動和手動搜索功能； 7. 可任意定義掃描圖像的色板功能； 8. 支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能； 9. 支持掃描器靈敏度校正和電子學控制器自動校正； |
友好的軟件界面及操作功能
三、主要技術參數
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名 稱 | 參 數 | 名 稱 | 參 數 |
工作模式 | 輕敲模式、接觸模式 | 掃描角度 | 任意 |
樣品尺寸 | Φ≤80mm；H≤20mm | 樣品移動范圍 | 0～20mm |
掃描范圍 | 橫向50um，縱向5um | 馬達趨近脈沖寬度 | 10±2m |
掃描分辨率 | 橫向0.2nm，縱向0.05nm | CCD放大倍數 | 光學放大0.6～5X，電子放大40X |
掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 圖像采樣點 | 256×256，512×512 |
掃描控制 | XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A | 反饋方式 | DSP數字反饋 |
數據采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
儀器重量體積 | 40KG，700*480*450mm | 計算機接口 | U2.0 |
運行環境 | 運行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統 | ||
