ABL8000氣浮平臺
1專為負載大,負載重心偏離機架中心線的應用設計
2十字交叉結構,剛性穩定性引人注目,幾何特性好
3軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4行程達1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統
行程≤1000mm
±0.50um
重復定位±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um

掃一掃
進入手機店鋪
ABL8000氣浮平臺
1專為負載大,負載重心偏離機架中心線的應用設計
2十字交叉結構,剛性穩定性引人注目,幾何特性好
3軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4行程達1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統
行程≤1000mm
±0.50um
重復定位±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um