產品簡介

PR系列白光干涉三維形貌儀是采用日本技術研制開發(fā)的測量儀器，該儀器擁有多項國內發(fā)明。儀器采用白光干涉原理，測量樣品表面微細形狀分布。是綜合運用光電子技術、微弱信號檢測技術、精密機械設計和加工技術、數(shù)字信號處理技術、應用光學技術、精密控制技術、計算機采集和控制技術、高分辨圖形處理技術等現(xiàn)代科技成果的光、機、電一體化的高科技產品。為使用者提供高度、高解析度、快速、非接觸的三維形貌測量。可以快速測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸至納米級別。操作方便快捷、應用范圍廣泛。儀器分高型(PR06系列)和標準型（PR05系列），滿足用戶不同級別的測量需求。

產品特點

非接觸測量避免被測件受損
度測量可達97μm/s
高測量垂直解析度0.1nm，水平解析度0.43um
高穩(wěn)定測量標準臺階重復測量性≤1% @1σ
大面積測量自動縫合的大范圍型號可供選擇
技術的解析算法
透明膜形狀測定功能
友好的人機界面PuruiVision應用軟件大
多參數(shù)選擇可以測量三維形貌、粗糙度等指標
適用范圍廣可以測量多種類型樣品的表面結構
真正意義上的免維護設備
優(yōu)良的性價比 

應用領域

精密機械加工表面/半導體硅片及設備/MEMS裝置表面/磁數(shù)據存儲設備/材料/光電精密制造/金屬摩擦學/薄膜陶瓷等表面/聚合物和生物材料/光學器件表面

性能參數(shù)表

測量實例