ZS系列是本公司長青系列，自西元1995年底開機完成至今，己過10年，亦是臺影像式量測顯微鏡，從機構設計、材料變更、加工方式、影像訊號向上、尋求更佳的照明方式，甚至因應客戶需求，在2004年投入量測軟體的研發。開發出一套功能完整，操作簡單又人性化的量測軟體。
　　
　　美國NITR鏡頭倍率是0.7~4.5X無段變焦，放大倍率可從28~180X.
　　X、Y平臺的部品加工程序要求甚嚴，從多道粗加工到精加工均要求其每道加工的加工量，避免因加工量過大產生太高的加工溫度而造成材料的熱變形及內部的加工應力，因此可保持的壽命。另外，平臺的X及Y軸各自為部品，所以平臺其直角度是可調整的。本公司產品出廠時直角度要求在1um/100mm.
　　主體以花崗石為架構，各部重要尺寸均要求合DIN00級規范，尤其主軸經力學設計不會產生前傾力偶，亦可保垂直度。
　　
　　X-Y軸移動范圍（mm）：500×400
　　Z軸移動范圍（mm）：130（V）/200
　　光學尺：RENISHAW 0.4um
　　線性：U1＝3＋（6L/1000）um U2＝4＋（6L/1000）um
　　基座＆主軸：花崗石合DIN00級
　　主機重量：520 KG
　　主機尺寸L×W×H（mm）：1000×1000×1700
　　CCD CAMERA：日本SENTECH 41萬Pixel
　　PROBE（兩機一體）：VP：英國 RENISHAW MCP接觸式測頭
　　鏡頭：0.7-4.5X（28-180X）
　　表面照明（白光）：LED環形光（可16分割）
　　輪廓照明（白光）：LED
　　控制量測系統：MI2.5D/3D-CNC
　　驅動：搖桿＆CNC
　　控制方法：X-Y軸可快速移動，Z軸手動
　　電力供應：220/3KVA