儀器用途：主要用于半導(dǎo)體硅晶片檢測、LCD液晶屏檢測、實驗室材料分析及其他精密工程檢測領(lǐng)域，可對樣品進行明場、暗場、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素?zé)簟⒐饫w照明，可以配電動物鏡轉(zhuǎn)盤、成像系統(tǒng)，可以對應(yīng)多種需求的系統(tǒng)顯微鏡。
儀器型號 YVM-200150CNC
量測行程 X.Y.Z 2000*1500*800mm（X.Y.Z）
光學(xué)測量系統(tǒng) CCD：2/3"(Gige LE)分辨率1280*1024*130萬像素
顯微鏡鏡頭：奧林巴斯MX-61
物鏡：5X、10X、20X、50X、100X
顯示分辨率：0.0001mm
源興光學(xué)測量軟件
示值誤差 X、Y≤(4+L/200)um ,Z≤0.01mm
程控光源系統(tǒng) 下光源：條形光源，亮度可進行調(diào)節(jié)表面光：鹵素?zé)艉屯S光，亮度可進行調(diào)節(jié)。熒光照明。
裸機尺寸 2500*2500*2500mm
儀器凈重 5500KG
工作臺負載 80KG
儀器電源 220V(AC) 50HZ 125W
結(jié)構(gòu)形式 龍門橋式移動
操作方式 搖桿/鼠標(biāo)
電源 220/110V
廣東源興光學(xué)儀器有限公司
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