- 產品品牌：
- ETD
- 產品型號：
- ETD-2000/3000
COXEM Co.，Ltd 專門制造掃描電子顯微鏡的化企業(yè)，自2007年成立以來，持續(xù)快速發(fā)展，已成為主要掃描電鏡制造商之一。自2011年5月，COXEM在中國設立直銷辦公室，配置級掃描電鏡應用工程師和維修工程師，向中國顧客提供優(yōu)質掃描電鏡產品和服務。
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ETD-2000/3000型離子濺射儀是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的，簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導體材料實驗電極制作。
主要特點：
1. 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)；
2. 濺射電流調整控制器、微型真空氣閥。在工作時結合內部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得鍍膜效果；
3. 特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現象；
4. 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經久耐用；
5. 根據電場中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
配置參數：
- 靶（上部電極）：金：直徑：50mm，厚度：0.12mm
- 真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm
- 樣品臺及工作距離：高配旋轉樣品臺，簡配固定樣品臺，高度手動調節(jié)
- 濺射面積： Ф50mm，放置
- 真空指示表： 真空度：≤ 4X10-2 mbar
- 離子電流表： 電流：50mA(100mA)
- 定時器： 長時間：900S
- 微型真空氣閥： 可連接φ3mm軟管
- 可通入氣體： 多種
- 電壓： -1600（-3000）DCV
- 機械泵： 2L/S （120L/min）
-
樣品表面離子清潔（選配）
