靈敏高阻/低電流測量儀器
6517A型高阻計/靜電計

 的電流測量靈敏度1&tim;10-17A；
的電阻(率)直接測量能力5&tim;10-17Ω；
準確度、靈敏度、功能、價格任何其他公司的高
阻計/靜電計。
測量范圍：
電流(10-17~10-2A)；
電壓(10-6~102/104V)；
溫度(-190~1350℃)；
電阻(10-1~1017Ω)；
電荷(10-15~10-6C)；
濕度(0.3%~100%)

主要性能：
輸入阻大于2&tim;10¹⁴Ω；
輸入端壓降小于20µV；
儀器內部溫度濕度補償；
已備1kV精密程控電壓源，小步長5mV；
測量數據可作為t,T,H的函數；
六位半弱電流和高阻電壓測量分辯率；
小信號帶寬100kHz；
直接測體/表面電阻率10¹⁸Ωcm,10¹⁷Ω/口；

噪聲小于7.5&tim;10^-16A；
具有十通道測量擴展能力；
快速弱電流測量125點/秒；
多參數同時測量和顯示；
帶IEEE-488.2接口和RS-232接口；
前放輸出(阻轉換)和模擬輸出；
長可驅動300米電纜；
數據存儲(15K,Max),觸發聯接技術

選  件：
8009-體/表面電阻率測試箱；
8002A-元器件測試箱；
6521/6522-十通道低漏電流掃描卡；
6517-RH-濕度探頭；
KPC-488.2AT-IEEE-488.2接口卡；
TTPOINT-測控軟件包；

SC-9(22)-二(三)同軸低噪聲電纜；
6103C-40KVDC輸入分壓探頭；
237-TRX-NG-三槽三同軸至BNC轉接器；
5156-校準源；
6524-高阻、體/表面電阻率測試軟件包，新變電壓
   性法增強高阻測試能力

軟件支持：
與617靜電計兼容，SCPI命令；
6524高阻、體/表面電阻率測試軟件；
有LABVIEW和TTPOINT軟件所驅動程序；
多種編程舉例；
內置九個標準測試程序：
二級管漏電流測試；
電容漏電測試；

表面緣電阻測試；
電纜緣電阻測試；
方波掃描測試；
電阻電壓系數測試；
體電阻率測試；
表面電阻率測試；
階梯波掃描測試

62/65系統：
62系統適用于高阻元器件測試，包括6517A高阻計，8002A元器件測試盒，6524軟件及電纜附件；
65系統適用于高阻材料測試，包括6517A高阻計8009電阻率測試盒，6524軟件及電纜附件