美國Vacuum Research真空公司(VRC)從1953年起就開始制造真空閥門,目前VRC作為世界上的真空閥門制造商,其產(chǎn)品廣泛應用于半導體制造業(yè),物理學研究,化工凈化和真空設備制造等行業(yè)。如離子注入設備,加速器,回旋加速器,電子束焊接設備,質(zhì)譜儀,空間模擬器,鍍膜機,真空爐等。
主要真空閥門種類如下:
1.真空插板閥 2.真空角閥
VRC的真空閥門產(chǎn)品具有如下特點:
真空閥門材料及選件:不銹鋼或鋁制閥門,手動/電動/氣動操作,裝配有閥門位置指示裝置,選配限位開關(guān); 閥體上可以集成真空規(guī)管接口和粗抽接口。
接口形狀及尺寸:圓形或方形;接口尺寸從KF-16到900mm,1英寸到36英寸,是世界上少的幾個可以提供口徑真空插板閥的廠家之一。
法蘭規(guī)格:ANSI,ISO,JIS或Conflat。
標準的VRC真空插板閥運行250000次無須維護,更有次使用無須維護的版本可以提供。
的VRC真空插板閥都可以在斷電情況下關(guān)閉;氣動的閥門即使在同時斷電斷氣的情況下,也可是手動定位。
VRC的真空閥門在出廠前都經(jīng)過了氦質(zhì)譜檢漏,漏率小于2×10-9 scc/s。
閥板兩側(cè)允許3個大氣壓力的壓差。也提供更高壓力的版本。
維護簡單,5分鐘內(nèi)可以更換部件。
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