SHI APD公司的Marathon® CP系列低溫泵專門設(shè)計用于高真空系統(tǒng)。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高性等突出優(yōu)勢，被廣泛的應(yīng)用于科學(xué)研究實驗室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域，如半導(dǎo)體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測試設(shè)備、太陽能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。
低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵是獲得清潔真空的限壓力、抽氣速率的真空泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。 
| CP-8 低溫泵 | CP-8LP 低溫泵 | CP-250LP 低溫泵 | CP-12 低溫泵 | CP-16 低溫泵 | CP-20 低溫泵 | SICERA 8" 低溫泵 | SICERA 12" 低溫泵 | ||
抽速 | 空氣 | 1500 | 1800 | 3060 | 3600 | 4800 | 9700 | 1500 | 3300 |
| 水蒸汽 | 4200 | 4200 | 6300 | 9860 | 17,300 | 29,100 | 4000 | 9500 | |
| 氬氣 | 1250 | 1500 | 2500 | 3100 | 4100 | 8300 | 1200 | 2700 | |
| 氫氣 | 2300 | 3000 | 5000 | 7300 | 12,000 | 14,000 | 2200 | 6000 | |
| 吞吐量 | 氬氣(托-升/秒) | 11 | 11 | 11 | 12.6 | 11.4 | 1.3 | 8.9 | 8.9 |
| 氬氣 | 870 | 870 | 870 | 1000 | 900 | 900 | 700 | 700 | |
| (sccm) | |||||||||
| 吸附能力(標(biāo)升) | 氬氣@ | 1200 | 1600 | 1600 | 3100 | 5500 | 6000 | 1000 | 2000 |
| 1 x 10-6 托 | |||||||||
| 氫氣@ | 25 | 25 | 25 | 50 | 50 | 33 | 12 | 30 | |
| 5 x 10-6托 | |||||||||
| Crossover (托-升) | 220 | 220 | 220 | 650 | 500 | 400 | 150 | 150 | |
| 降溫時間 (分鐘) | 75 | 110 | 110 | 90 | 135 | 190 | 120 | 150 | |
| 接口法蘭 | ANSI | 6" | 6" | N/A | 10" | N/A | 20" | N/A | N/A |
| ISO | 200 mm | 200 mm | 250 mm | 320 mm | 400 mm | 500 mm | N/A | N/A | |
| Metal Seal (Conflat) | 10" | 10" | N/A | N/A | N/A | N/A | 253 mm | ||
| CVC | N/A | N/A | N/A | 10" | 10" | N/A | N/A | N/A | |
