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- 質保：一年
- 特點：測量精準
粗糙度測量儀是一種用于精/確測量工件表面微觀幾何形狀特性（即粗糙度）的精密儀器，主要用于評估表面加工質量、控制工藝精度和確保產品性能。以下從原理、分類、應用、操作及選型等方面詳細介紹：
一、工作原理
粗糙度測量基于對表面輪廓的捕捉與分析，主要分為兩種技術路徑：
1. 接觸式（觸針式）
核心部件：金剛石觸針（尖端半徑通常為 2μm-5μm）、位移傳感器（電感式 / 壓電式）、信號處理器。
測量過程：觸針沿工件表面勻速滑行，隨表面起伏產生垂直位移，傳感器將位移轉換為電信號，經濾波、放大后，通過算法計算出粗糙度參數（如 Ra、Rz 等）。
特點：成本較低、通用性強，但觸針可能劃傷敏感表面，且測量速度較慢。
2. 非接觸式
技術類型：
光學測量：激光干涉法（如白光干涉儀）、共聚焦顯微鏡、激光三角法，通過光信號反射或干涉獲取輪廓數據。
電磁感應：利用渦流傳感器檢測金屬表面微小起伏。
圖像分析：通過高清相機拍攝表面圖像，結合算法計算粗糙度參數。
特點：無接觸損傷、適合軟質 / 精密元件（如半導體、光學鏡片），但易受表面反光、顏色干擾，設備成本較高。
二、分類與典型型號
| 分類維度 | 類型 | 典型型號 / 品牌 | 精度范圍 | 適用場景 |
|---|---|---|---|---|
| 按測量方式 | 觸針式粗糙度測量儀 | 三豐 SJ-410、馬爾 MarSurf CM 200 | Ra 0.001μm-100μm | 金屬加工件、常規工業檢測 |
| 非接觸式粗糙度測量儀 | 霍梅爾 WLI 白光干涉儀、基恩士 VR 系列 | Ra 0.001μm-50μm | 精密模具、半導體、光學元件 | |
| 按便攜性 | 臺式粗糙度測量儀 | 泰勒 Surtronic 3+、東京精密 Surfcorder | Ra 0.001μm-50μm | 實驗室精密測量、計量校準 |
| 便攜式粗糙度測量儀 | 時代 TIME3230、三豐 SJ-210 | Ra 0.02μm-200μm | 車間現場、大型工件快速檢測 | |
| 按行業專用性 | 汽車零部件專用 | 霍梅爾 C4000 | Ra 0.1μm-10μm | 發動機缸體、齒輪表面檢測 |
| 半導體專用 | 基恩士 VR-3000 系列 | Ra 0.001μm-2μm | 晶圓表面、芯片封裝基板粗糙度檢測 |
三、操作流程與注意事項
1. 觸針式測量步驟
準備：
清潔工件表面，去除油污、毛刺；安裝對應觸針（粗糙表面用大半徑觸針，精細表面用小半徑觸針）。
校準儀器：用標準樣板（如 Ra=0.8μm、Ra=3.2μm）驗證測量值，誤差需控制在 ±10% 以內。
設置：
選擇取樣長度（如 Ra≤0.2μm 時取 0.8mm，Ra>0.2μm 時取 2.5mm）和評定長度（通常為 5 倍取樣長度）。
設置測量速度（0.05-0.5mm/s，低速可提高精度）。
測量：
將儀器平穩放置，確保觸針垂直于加工紋理方向（如車削表面沿軸向測量）。
啟動掃描，重復測量 3 次取平均值，避免偶然誤差。
2. 關鍵注意事項
觸針保養：避免觸針碰撞硬物，使用后用無水酒精擦拭，長期不用需放入保護套。
環境控制：測量需在恒溫（20±5℃）、無振動環境下進行，避免溫度導致工件熱脹冷縮誤差。
紋理方向：粗糙度參數與加工紋理密切相關，需沿垂直于紋理方向測量（平行方向測量值可能偏低）。
量程匹配：避免超范圍測量（如儀器最/大量程 Ra=10μm 時，勿測 Ra=20μm 的表面）。
