一.中圖激光干涉儀產品優勢

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1.測量高、速度快，穩定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。

二.中圖激光干涉儀功能特點

1.測量高：以激光干涉技術為，分辨率可達納米級；采用高環境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩頻控制系統，保證激光長期穩頻；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩定。

2.中圖激光干涉儀具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位、重復定位等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉軸分度的測量。

3.可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。

4.中圖激光干涉儀具有動態測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等。

5.內置各種類國標（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等機床檢驗標準。可依據各種機床標準分析處理數據，并根據測量結果可打印相應的曲線圖和數據。

6.中圖激光干涉儀可自動監測環境溫度、材料溫度、環境濕度和大氣壓力的參數。可選擇手動或自動對波長進行環境補償。

7.測量記錄采用集中式數據庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數據輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8.安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

三.中圖激光干涉儀技術參數

系統性能

2  測量方式：單頻

2  穩頻：0.05ppm

2  動態采集頻率：50 kHz

2  預熱時間：5-10分鐘

2  工作溫度范圍：0~40℃

2  環境溫度范圍：0~40℃

2  存儲溫度范圍：-20℃~70℃

環境補償示值誤差

2  空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

2  大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

線性測量

2  測量距離：0-40m

2  測量：0.5ppm (0-40℃)

2  測量分辨率：1nm

2  測量速度：4m/sec

角度測量

2  軸向量程：0-15m

2  測量范圍：±10°

2  測量：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）

2  測量分辨率：0.1μm/m

直線度測量

2  軸向量程：0.1-4.0 m

2  測量范圍：±2.5 mm

2  測量：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學鏡移動距離，單位：m）

2  測量分辨率：0.01μm